Wolfram & Molybdeenvervangstukken voor Ionenimplantation-hulpmiddelen

Wolfram & Molybdeenvervangstukken voor Ionenimplantation-hulpmiddelen

Wolfram & Molybdeen de Vervangstukken voor Ionenimplantation-Hulpmiddelen is een vacuümproces in de halfgeleiderindustrie om wafeltjes met ionen te smeren, die de elektrische eigenschappen van het wafeltjemateriaal, b.v. het geleidingsvermogen veranderen. Het proces is verdeeld in de volgende stappen: Verwezenlijking van ionen in zich een het ionenbron, een extractie en een massascheiding van ionen voor de selectieve inplanting, een diverion van de straal, een versnelling en concentreren van de ionenstraal aan het wafeltje. Dit gebied van ionen wordt implanter genoemd straallijn.

De hoge die prestatiesmaterialen voor de delen in de straallijn zijn worden gebruikt Wolfram, Molybdeen, Tantal en Grafiet. Daarnaast worden de isolatoren van hoge zuivere keramiek, b.v. MILJARD gebruikt.

Fanmetal verstrekt hoogte - kwaliteitsverbruiksgoederen en vervangingscomponenten voor beamline in Ion Implanters van AMAT, Varian en Axelis. De materiaalverbeteringen en de wijzigingen van delen die de eisen van klanten voor het procesverbeteringen zijn overeenstemmen de extra dienst.

Schema van de ionenstraal in ionen implanter.

Wolfram & Molybdeenvervangstukken voor Ionenimplantation-Hulpmiddelenbeeld: