Het fijne het Wolfram Sputterende Doel van de Korrelgrootte met Heup/Cip/smeedt Proces

Het wolfram sputterende doel is een belangrijk substraat voor de film van het wolframoxyde om zijn functionele overgang in het halfgeleiderapparaat te realiseren. wegens het hoge smeltpunt van wolfram, wolframdoelstellingen hoofdzakelijk voorbereidingen getroffen door poedermetallurgie

wegens zijn stabiliteit op hoge temperatuur, hoge weerstand van het elektronenvervoer en hoge coëfficiënt van de elektronenemissie, vuurvast metaalwolfram en wolfram zijn legeringen wijd gebruikt in van de halfgeleider grote schaal de productie van geïntegreerde schakelingen. High-purity wolfram en van de wolframlegering doelstellingen voor halfgeleiders. De toepassingsgebieden, de prestatie-eisen en de voorbereidingsmethodes van de materialen werden in detail geanalyseerd, en de ontwikkelingstendens werd naar bodemschatten gezocht. High-purity wolfram en van de wolframlegering doelstellingen worden hoofdzakelijk gebruikt om poortelektroden, verbinding bedrading en verspreidingsbarrières van halfgeleidergeïntegreerde schakelingen te vervaardigen. Enz.,

er zijn uiterst hoge vereisten op de zuiverheid van materialen, onzuiverheidsinhoud, dichtheid, korrelgrootte en de uniformiteit van de korrelstructuur. High-purity wolfram en van de wolframlegering doelstellingen gebruiken hoofdzakelijk het hete drukken, het hete isostatic drukken enz. Door middel van middelgroot-frequentie die + kan de drukverwerking, high-purity sinteren, high-density wolframdoelstellingen worden voorbereid, maar die korrelgrootte en van de korrelstructuur de uniformiteitscontrole, is niet zo goed zoals wolframdoelstellingen door hete isostatic te drukken worden voorbereid.

Gesinterd wolframdoel voor sputteren, gekenmerkt in zoverre dat het een relatieve dichtheid van 99% of meer, een gemiddelde diameter van de kristalkorrel van 100 m of minder, een zuurstofgehalte van 20 p.p.m. of minder en een afbuigingskracht van MPa 500 of meer en een methode tentoonstelt om het wolframdoel met stabiliteit aan lage kosten voor te bereiden, die betere productievoorwaarden voor een poeder van het grondstoffenwolfram en betere het sinteren voorwaarden gebruiken. Het gesinterde wolframdoel heeft een hoog niveau met dichtheid en een hoge graad van de fijnheid van een kristalstructuur die nooit door een conventionele druk het sinteren methode is bereikt en is duidelijk beter in afbuigingskracht, die in de significante daling van het voorkomen van deeltjestekorten heeft geresulteerd.

Materiaal: Wolfram

Voorwaarde: grond

Toepassing: PVD-de deklaagindustrie, x-ray buis etc.