Al 35% Aluminium van het het Doeltitanium van Ti 65% het Sputterende

Productomschrijving

Sputterend Doel titanium-Aluminium

Van het aluminiumtitanium (AlTi) worden de de legerings sputterende doelstellingen veroorzaakt door HEUPtechnologie en in hulpmiddeldeklagen en decoratieve deklagen wijd gebruikt. Vergeleken die met het het smelten proces, heeft wordt voorbereid het TiAl-doel door het HEUPproces een meer eenvormige microscopische interne structuur en een kleinere korrelgrootte, die voor diverse magnetron sputterende machines en ionendeklaagmachines geschikt is. In het PVD-proces, het eind - de gebruiker kan een constant erosietarief en een hoge zuiverheid en een eenvormige dunne filmdeklaag verkrijgen.

Volgens onderzoekrapporten over het productieproces van de legeringsdoelstellingen van het titaniumaluminium in binnen- en buitenland, omvatten de belangrijkste voorbereidingstechnieken om Doel titanium-Aluminium Te sputteren momenteel: hoge huidige verwarmingsmethode, hete isostatic dringende het sinteren methode, en hete dringende het sinteren methode.

Ons Sputterend Doel titanium-Aluminium is populaire toe te schrijven aan hun:

Hoge rekbaarheid

Hoog warmtegeleidingsvermogen

Homogene microstructuur

Onverslaanbaar niveau van materiële zuiverheid

Wat ook de meetkunde is - roterende of vlakboogkathoden of vlak sputterende doelstellingen: Wij kunnen op maat gemaakte doelstellingen leveren die voor uw toepassing perfect zijn.

1. Hoge huidige verwarmingsmethode

Geleerde 1 vond een methode om titanium-aluminium legeringsdoelstellingen door stroom met hoge intensiteit uit te veroorzaken. Deze methode gebruikt een apparaat dat een grote stroom, en gebruiks hoog stroom kan verkrijgen om het titaniumpoeder en aluminiumpoeder te verwarmen, en druk toe te passen om het aluminium en het titanium te maken zelf reageren. Een de legeringsdoel wordt van het titaniumaluminium gevormd. De dichtheid van het met deze methode voorbereide product van het de legeringsdoel van het titaniumaluminium is >99%, is de korrelgrootte microns ≤100, en de zuiverheid is >99%. De samenstellingswaaier van het de legeringsdoel van het titaniumaluminium is: de titaniuminhoud 5% ~75% (atoomverhouding), en de rest zijn aluminiuminhoud. Deze methode heeft lage kosten en hoge productdichtheid, die aan de vereisten van industriële productie op grote schaal kunnen volledig voldoen. Deze voorbereidingsmethode vereist een apparaat dat grote stroom kan verkrijgen. De positieve en negatieve elektroden moeten geleidingsvermogen en druktransmissiefuncties hebben, en zouden goede geleidingsvermogen, hardheid en weerstand moeten hebben tegen zacht worden het op hoge temperatuur, enz. Daarom of het kan hebben een groot huidig apparaat dat aan de procesvereisten voldoet en stabiel heeft zijn de prestaties de sleutel aan de voorbereidingsmethode.

2. Hete isostatic dringende het sinteren methode

Geleerde 2 vond een de voorbereidingsmethode van de poedermetallurgie van de legeringsdoel van het titaniumaluminium uit. Deze methode mengt titaniumpoeder en aluminiumpoeder, en ondergaat poederlading en koude isostatic dringende precompressie, het ontgassen dan proces, en toen hitte. Het hydrostatische drukken wordt gevormd, en definitief gesinterd en verwerkt om een de legeringsdoel van het titaniumaluminium te verkrijgen. Het met deze methode voorbereide de legeringsdoel van het titaniumaluminium heeft de kenmerken van hoogte - dichtheid, geen poreusheid, geen poreusheid en scheiding, eenvormige samenstelling, en fijne kristalkorrels. Bereidde de dichtheid van het product van het de legeringsdoel van het titaniumaluminium is voor ≥99%, is de zuiverheid >99%, is de korrelgrootte microns ≤100, en de maximumspecificatiegrootte kan 1.000 mm bereiken. De samenstellingswaaier van het de legeringsdoel van het titaniumaluminium is: de titaniuminhoud 20% ~ 80% (Atoomverhouding), en de rest zijn aluminiuminhoud. De hete isostatic dringende methode is momenteel de belangrijkste methode om de legerings sputterende die doelstellingen voor te bereiden van het titaniumaluminium door de deklaagindustrie worden vereist. De met deze methode voorbereide doelproducten zijn dicht en hebben een brede waaier van groottespecificaties nochtans, vereist deze methode het gebruik van het zeer belangrijke drukken en het sinterende materiaal, een hete isostatic dringende sinterende oven, die duur is, wat tot de hoge kosten van het voorbereide doelproduct leidt, en het is moeilijk om industrialisatie te bevorderen.

3. Hete dringende het sinteren methode

Geleerde 3 et al. vond een snel heet dringend het sinteren proces voor de legeringsdoelstellingen van het titaniumaluminium uit. Dit proces laat dat het poeder van het titaniumaluminium toe wordt gesinterd onder de gecombineerde actie van hitte en kracht. Het punt met een laag smeltpunt van aluminium in het mengsel Ti-Al wordt gebruikt om de legering van het titaniumaluminium te verminderen. Het poeder wordt geplakt samen om een legerings sputterend doel te vormen. Het schematische diagram van het hete drukken die getoond in Figuur 2 sinteren wordt.

Sputterend Doel titanium-Aluminium Beeld:

Het met deze methode voorbereide legeringsdoel heeft hoogte - dichtheid (≥95%), kleine korrelgrootte (microns ≤100), en eenvormige samenstelling. De titanium-aluminium legeringsdoelstellingen met verschillende samenstellingen kunnen door dit proces worden voorbereid. De titanium-aluminium legering richt de samenstellingswaaier is: de titaniuminhoud is 25% aan 75% (atoomverhouding), en de rest is aluminiuminhoud. Het proces is korte, lage kosten, en goed deklaageffect, die aan de vereisten van industrialisatie op grote schaal kunnen voldoen.

Het kenmerk van dit proces moet druk door een stijve vorm in een vacuüm of beschermende atmosfeer overbrengen, zodat het materiaal onder de gecombineerde actie van hitte en kracht gesinterd en gevormd is, en de twee en stappen die van koude gecombineerd in één stap drukken sinteren worden, die de procesefficiency kan zeer verbeteren.

Dit proces heeft hoge eisen ten aanzien van materiaal, en het belangrijkste materiaal is een heet-drukt sinterende oven. De voorbereide doelstellingen zijn hoofdzakelijk om legeringsdoelstellingen met een diameter van ≤100 mm. Bovendien wordt dit proces gebruikt om titanium-aluminium legeringsdoelstellingen met hoge aluminiuminhoud voor te bereiden. Op dit ogenblik, zijn er problemen van het moeilijke demolding en lage vormlevensduur. Elk proces van de doelvoorbereiding verbruikt een reeks vormen, die de productiekost van het doel verhoogt. Daarom is het noodzakelijk om een geschikte agent van de vormversie te verkiezen om de opbrengst en de vormprestaties te verbeteren. Bezettingsgraad.

Momenteel, het hete pers is sinteren de meest potentiële voorbereidingstechnologie voor de legerings sputterende doelstellingen van het titaniumaluminium. Deze technologie heeft hoge procesefficiency en is geschikt voor industriële productie. Nochtans, is het gebruik van het hete pers sinteren om de legerings sputterende doelstellingen van het titaniumaluminium voor te bereiden moeilijk aan demold, het probleem van lage vormlevensduur. Elk proces van de doelvoorbereiding verbruikt een reeks vormen, die de productiekost van het doel verhoogt. In het het sinteren proces van de legering van het titaniumaluminium, behoort het titanium tot de harde fase met hoog smeltpunt, en het aluminium behoort tot de fase plakkend. Tijdens het het sinteren proces van het hoog-aluminium titanium-aluminium legeringspoeder, smelt het aluminium met een laag smeltpunt geleidelijk aan, wat de titaniumatomen kan samen plakken en definitief een legeringsdoel vormen. Nochtans, is de het nat maken hoek van de aluminiumvloeistof en de grafietvorm een stompe hoek, en de meer aluminiuminhoud is de legering van het Titaniumaluminium, is moeilijker het aan demold na het hete drukken sinterend en koelend. Daarom moet het hete dringende het sinteren voorbereidingsproces van het doel van de het aluminiumlegering van het hoog-aluminiumtitanium een geschikte versieagent verkiezen om de opbrengst en de bezettingsgraad van de vorm te verbeteren.

Bovendien hebben het de het sinteren temperatuur, het verwarmen tarief, en de hete dringende druk in het hete dringende het sinteren proces een grote invloed op de definitieve structuur en prestaties van het product. Onder hen, is de het sinteren temperatuur te hoog, wat zal leiden tot de overgang van stevige fase het sinteren naar het vloeibare fase sinteren moeilijk om makend het hoge smeltpunt skeletinstortingen en afvalmacht en energie te faseren, die niet bevorderlijk is voor het drukken van kosten; bovendien als de het sinteren temperatuur te hoog is, zal het de groei van kristalkorrels en de verhoging en de groei van de tweede fase veroorzaken, die de het sputteren deklaagprestaties van het doelmateriaal zal verminderen. Als de korrels van het doelkristal te groot zijn, zal de het sputteren oppervlakte tijdens het sputteren worden verbruikt, en de ongelijkheid op de oppervlakte van het erosiedeel dat op het sputterende doel verschijnt zal stijgen, resulterend in een daling van de uniformiteit van de filmdikte van de gevormde legeringsfilm. Wanneer de macht groot is, de frequentie van abnormale lossing van de kleine boogverhogingen, en het resulterende bespatten. Tegelijkertijd, vergelijkbaar geweest met het substraat, heeft de tweede fase slechte het sputteren efficiency en zal waarschijnlijk als uitsteeksels blijven, die ook de uniformiteit van de sputterende film zullen beïnvloeden. De het sinteren temperatuur is te laag, wat in het onvolledige sinteren en lage dichtheid van het doelproduct zal resulteren. Als het het verwarmen tarief tijdens het hete dringende proces snel is, kan de het werkefficiency worden verbeterd, maar omdat een deel van het gebied eerst gesinterd is, zal de fase plakkend stromen, resulterend in het doelmateriaal het definitieve probleem van ongelijke samenstelling. De hogere druk kan efficiency ook verbeteren, maar zal het tegelijkertijd ernstige vormslijtage veroorzaken en zal vormlevensduur verminderen.

Samengevat, het hete pers is sinteren de meest potentiële voorbereidingstechnologie voor de legerings sputterende doelstellingen van het titaniumaluminium. Deze technologie heeft hoge procesefficiency en is geschikt voor industriële productie. De voorbereiding van de legeringsdoelstellingen van het titaniumaluminium door deze technologie vereist herhaalde proeven en selectie. De agent van de vormversie kan het opbrengstpercentage en de bezettingsgraad van de vorm verbeteren. Tegelijkertijd, is het noodzakelijk om de het sinteren hete dringende procesvoorwaarden (het sinteren temperatuur, het verwarmen tarief, hete dringende druk) te optimaliseren, productieefficiency te verbeteren, en kosten te drukken. Met de snelle het sputteren deklaaggroei, en de tendens van geleidelijke popularisering in China, verhoogt de marktvraag naar het sputteren van deklaagdoelstellingen ook snel elk jaar. Daarom heeft het onderzoek naar de voorbereidingstechnologie van de legeringsdoelstellingen van het titaniumaluminium praktische betekenis en grote toepassingsvooruitzichten.